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真空机械手PHOENIX PLUS B系列直驱电机结构，与PHOENIX B系列相直驱电机结构，与PHOENIX B系列相比，将控制器集成到机械手本体之内，大大缩减了整体尺寸，IO处理模...... See more -
真空机械手ARCHER 系列直驱电机结构，全新的IO模块，具有直驱电机结构，全新的IO模块，具有先进的防碰撞保护功能及输入信号硬件中断功能。满足个性化设计支持...... See more -
TTS-2000 EFEM（两工位EFEM）一体化程度高，自动化程度高，安全一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制，拥有新松自...... See more -
IC STOCKERFOUP STK，高洁净度，电缆供电，低FOUP STK，高洁净度，电缆供电，低噪音，行走免润滑，SEMI软件接口，碰撞保护功能，MCBF50000次，Au...... See more -
真空传输平台DIAGRAM 600一体化程度高，自动化程度高，拥有一体化程度高，自动化程度高，拥有新松自主研发的真空机械手，真空预对准装置及晶圆盒真空升降传输装...... See more -
大气机械手Blade-S175-Ex高洁净等级，高精度，高速传片，耐高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护，Mapping功能，SEMI认证，提供接口及末端定制 See more -
真空机械手Titan1500C采用磁流体密封技术，网络化控制系采用磁流体密封技术，网络化控制系统，具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能，通过SEMI认证，MCBF...... See more -
真空机械手PINUS-SM11直驱电机结构，全新的IO模块，具有直驱电机结构，全新的IO模块，具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，通过SEMI认证。满...... See more -
真空机械手PHOENIX-S25直驱电机结构，全新的IO模块，具有直驱电机结构，全新的IO模块，具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，拥有SEMI认证。满...... See more -
大气机械手Blade-SD210高洁净等级，高速传片，碰撞保护，M高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制。 See more -
TTS-3000 EFEM（3工位EFEM）一体化程度高，自动化程度高，安全一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制。 See more -
TTS-4000 EFEM（4工位EFEM）一体化程度高，自动化程度高，安全一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制。 See more -
G4.5 FPD Robot高洁净等级，高速传片，抗干扰，GLA高洁净等级，高速传片，抗干扰，GLASS自动纠偏，提供接口及末端定制，迎合个性化设计手指及接口，用...... See more -
G6 FPD Robot高洁净等级，高速传片，抗干扰，GLA高洁净等级，高速传片，抗干扰，GLASS自动纠偏，提供接口及末端定制，迎合个性化设计手指及接口，用...... See more -
复合机器人C-20 I/II车载电池供电，安全性高、能耗低，车载电池供电，安全性高、能耗低，激光轮廓导航、百级洁净设计、能满足Cassette, CST, MGZ, Tray...... See more -
G4.5 Cassette AMHSCST AMHS，高洁净度，非接触供电，CST AMHS，高洁净度，非接触供电，SEMI软件接口，动态纠偏和碰撞保护功能 ，设备可定制。 See more -
Mask StockerMask case STK，高洁净度，非接触Mask case STK，高洁净度，非接触供电，SEMI软件接口，动态纠偏和碰撞保护功能，高可靠性，设备可定制 See more -
真空机械手SRBZ970C磁流体密封、网络化控制器、MCBF大磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由...... See more -
真空机械手PHOENIX-B系列直驱电机结构，全新的IO模块，具有直驱电机结构，全新的IO模块，具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，通过SEMI认证。满...... See more -
大气机械手Blade-DD250高洁净等级，高精度，高速传片，耐高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护， SEMI认证，提供接口及末端定制 See more -
大气机械手Blade-D156高洁净等级，高速传片，碰撞保护，M高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制。 See more -
SRBZ820C-SMSX磁流体密封、网络化控制器、MCBF大磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由...... See more -
真空机械手SRBZ820C-SMSX/G磁流体密封、网络化控制器、MCBF大磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由...... See more
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