关键字导读： PECVD PVD ETCH MEMS
陈述：直驱减速机制定，奔驰e敞篷的IO信息模块，有着高级的防摩擦保障性能及复制粘贴数据信号设备经常中断性能。符合性格化制定不支持消费者开发，胳臂厚度能选，能让企业客户提高界面及未端开发贴心服务。
简介
Introduction
智能化工业机械手本体选取多交流接触器同轴组成部分，行动其他灵活性稳固；高相同手机定位准确度，并掌握AWC智能纠偏工作，改善传片准确度；耐重力作用性，可不胜任高重力作用大环境下晶圆传片实际实用需求。直驱交流接触器组成部分享有更快的重力作用形态，内组成部分没了齿轮传动，三角带等元器件，机系统运作的稳定性性最好，靠谱性更快。IO感知器享有其他的打印输出投入引脚，用户数数是可以按照实际实用需求性能成互锁、感知器判断等工作。投入4g信号不的支持硬件软件超时工作，便于买家性能AWC等方位锁存工作应用领域。中含安全管理区性能工作和准确度的相撞护理工作，减小用户数数误运行会造成的各项亏损。中含显示电子屏幕机子人示教器，便于操作工人实用，并不的支持热插拔工作。与此基础上上，Archer Q41选取手掌蜻蜓手方法，四手指头组成部分，双取双放，很大改善了晶圆传片速度。Archer Q41/R41是可以按照买家应用领域的特出需要，高端定制胳膊肘大小，Z轴旅行线路，耐温度耐耐酸碱形态等。
参数
Parameter
性能：
本体重量Body Weight | 90KG |
适用晶圆尺寸Wafer Size | 300mm/200mm |
负载Payload | 1KG |
电源输入Power Supply | AC电压:208V AC频率：50HZ/60HZ |
电领域之内 相电压价格波动领域之内 | 单相交流208V +10%，-15% |
节拍Bear | 8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料，传输位置不同相关) |
动态偏差纠正精度(AWC) | ±0.1mm |
健身运动範圍 Range | R：994mm |
T：＞360° | |
Z：135mm | |
重复定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率Leak rate | < 5 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 3X10-8Torr |
适用于室温 Applicable temperature | 法兰:<90℃;本体:<50℃;手臂:<90℃ |
整洁度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >12.8million cycles |
数据通信界面Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互锁IO interlock | 支持Support |
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